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WikiOptics WikiLitho型 激光光刻机
【WikiOptics photolithography】
产品简介 Product introduction
WikiLitho是使用375nm激光二极管的光刻设备。 其高度准直的激光束可以形成非常清晰的图案。
WikiLitho is a photolithography device using a 375nm laser diode. Its highly collimated laser beam can make very clear patterns.
性能特点 Performance characteristics
● 合理的价格
● Reasonable price
● 操作简单
● Simple operating
● 激光点扫描
● Laser spot scanning
● 可倾斜模式（0°〜30°）
● Slanted pattern possible(0°~30°)
● 大的固化面积超过12英寸
● Large curing area over 12”
● 已安装安全门
● Safety door installed
操作步骤：
1、将设备（带有光罩）放在桌子上，然后放进去。
1. Put the substrate (with a photomask) on the table and put them in.
2、按下或旋转“ SET”（设置）旋钮以更改参数值。
2. Press or turn the "SET" knob to change the parameter values.
3、按下“运行”按钮开始激光固化。
3. Press the "RUN" button to start the laser curing.
技术指标 Technical indicators
注：
1、光功率和工作温度可能会随环境温度而变化。
1、Optical power and operating temperature may be changed on the ambient temperature.
2、光斑尺寸数据来自高斯光束轨迹模拟。
2、The spot size data is from the Gaussian beam trace simulation.
注意事项 Precautions
1、仪器及被测量零件应放在较稳定的工作台上。工作环境应力求温度恒定，做测件与仪器中间不得有抖动的气流，如通风口、暖气片、电烙铁、台灯、人体温度等，应尽量避免其影响。
2、观察表而镀反射膜的反射镜自准像应选择小功率灯泡，观察表面未镀反射膜的光学零件(如平行平板、棱镜等)的自准像则应选择功率大的灯泡，该仪器可使用6v5w以下的小灯泡。
3、在可能的情况下每一个自准像多次瞄准所读取的读数取平均值计算可降低瞄准误差，提高仪器精度。一般取3～5次。
4、仪器使用前应用软性纱布和航空汽油将基面的防绣油脂清擦干净。
5、仪器的二维测微器，供用户在观察时使用。
6、测微鼓轮系由精密螺杆付组成，使用时，切勿旋转过快，或用力过猛，以防精密螺杆精度走失及定位失灵。
保养维护 Maintenance
1、该仪器系精密光学仪器，应该由专人保管。使用者应了解仪器的原理、性能及使用方法。使用存放应十分小心，防止碰撞及振动。应保持工作环境的消洁及温度稳定。
2、仪器出厂时各部份均保证了良好的性能，除可调部份一般不能随意拆开调整。如发生故障应由有经验的人检修或送回制造厂家检修。
3、镜头及目镜的外露玻璃部分切忌手摸，应尽量少擦。如有灰尘可用软毛刷轻轻扫掉。如有印迹可用脱脂棉或镜头纸蘸少量的酒精乙醚的混合物歧丙酮等进行擦拭。
4、镜管及其它外露表面可用溶剂汽油清擦干净。仪器使用后应盖上护盖，若长时间不用应装入箱内并放平于干燥、温度适当之处进行保管。
5、仪器使用后，对精密工作表面应及时用软性纱布和航空汽油擦干净并涂上适量防锈油脂。
6、仪器应经常保持清洁，特别是光学及精密零件表面，应尽量避免手指接触和碰伤，光学表面还应尽量减少擦拭，若需擦拭时，可先用脱脂棉花沾少量的酒精加乙醚混合剂（1 ： 8），轻轻擦拭以保持光学表面的清洁。
7、仪器使用完毕后，宜放在干燥、低温处。
8、仪器搬运时，应防止冲撞和较大的震动，以免精度损失。
9、仪器应定期维护检测，以保证原有精度。
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